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CVD系统炉

CVD系统炉

 详情说明
真空CVD管式炉是由:真空管式炉、气体流量计、真空泵三部分构成。广泛用于:真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长、电池材料干燥烧结等场所。该系统技术成熟、质量可靠;该系统是材料实验室必备的理想设备之一。
真空CVD管式炉 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃
内 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 。真空密封系统 由两个不锈钢密封法兰,极限真空度≤10-2 Pa or 10-4 Pa
真空CVD管式炉有四路供气系统 可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架上,管式炉可以放在上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。
真空CVD管式炉可选配质量流量控制器跟浮子流量计。
质量流量控制器:
工作电压:185~245V/50Hz
最大输出功率:18W
控制范围:
控制器1:1~199 SCCM
控制器2:1~499 SCCM
工作温度:5~45 ?C
最大压力:3x106 Pa
准确度:±1% FS
控制阀及管线连接等
浮子流量计:流量速率在25to250ml/min

管式炉技术参数

产品用途:高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测。粉末冶金行业以及义齿加工行业的烘烤、氧化锆盘预烧结等。根据加热区大小,进行小试,中试,批量生产。

产品型号 MXG1200-60 加热区尺寸 440mm恒温150mm
极限温度 1200℃ 工作温度 ≤1100℃
石英管 60*54*1000mm 加热温区数 1
表面温度 <60℃ 控温精度 ±1℃
设备功率 4 KW 工作电压 单相220V
开门方式

上开式

壳体结构

双层,壳体间风扇制冷,可使炉体表面快速降温。

节能效果

★ 保温时仅需40%功率

数据显示模式 LED数显仪表

★可选配豪华型智能触摸屏仪表,实时曲线显示,
也可用U盘导出数据,在电脑上安装查看软件

 
       
控制模式

智能PID调节、模糊控制、自整定功能

温度曲线

30段可编程控制,可设置30段升降温程序

测温元件

K型热电偶

加热元件

优质掺钼铁铬铝合金加热丝环形加热,温场均匀,能耗低升温速率建议:10℃/Min Max:20℃/Min

炉膛保温材料

1500型高纯氧化铝微晶体纤维,保温性能好

售后服务

12个月质保(相关易耗件除外),终身保修

包装方式

三合板木质包装箱

电 源 线

标配2米
若需更长,请购买设备时提前说明,需另购

坩 埚

我司有各种规格的坩埚,需要可咨询业务人员

设备外形尺寸

620mm(长)*420mm(宽)*520mm(高)

设备重量

50Kg

控制方式扩展

★ 可选配485转换接口,实现与计算机相互连接。选配专用的电脑控制系统来完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。为客户提供方便,本公司也可以代购电脑。

随机配件

防护手套1双;坩埚钳1把;刚玉舟1只;石英管;炉塞;炉勾;6号内六角(法兰专用); 法兰一套;配套气管;高温密封圈8个;产品说明书1份;仪表说明书1份;保修证书1份。

配件图片    
  刚玉舟 石英管
 
炉塞

不锈钢法兰

高温密封圈
 
非标订制

★此型号适合小型实验用
★若批量生产用,可根据实际需要订制更大炉膛,最小1L,最大几个立方,具体咨询业务人员。

 
使用注意事项

管式炉使用一段时间后,炉膛会出现微小的裂纹,这属于正常现象, 不会影响使用,可联系我司售后部门索取免费氧化铝涂层进行修补。

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